12寸/8寸/6寸晶圓烘烤箱
晶圓智能烘箱采用智能烘箱過程管理系統(tǒng)，由上海和呈儀器有限公司自主研發(fā)，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實現(xiàn)自動化烘烤，過程管理?？刂品奖?、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造，大大提高生產(chǎn)效力！
晶圓智能烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構(gòu)。
晶圓智能烘箱主要參數(shù)介紹：
溫度范圍：室溫+20℃～300
均勻度：±1.5%
潔凈等級： Class100
升溫速度：常溫～300℃,升溫速度>6℃/min
降溫速度：降溫斜率程序可控，200℃～ 120℃，3.5度/分鐘，120℃～ 65℃約1.5度/分鐘
控制系統(tǒng)：歐姆龍PCL+PC工控電腦。
智能控制系統(tǒng)特點：
◆ 可接入MES和ERP通訊
◆ 權(quán)限分級管理，給每個管理者、工程師、操作員獨立用戶名和密碼
◆ 智能控制系統(tǒng),歷史數(shù)據(jù)、操作、報警，事件等等數(shù)據(jù)查詢，記憶操作步驟，操作便捷
◆ PC 內(nèi)部記錄數(shù)據(jù)，使用 Excel 等常用軟件可以讀取，短數(shù)據(jù)記錄間隔5S；
◆ 工廠系統(tǒng)，選擇烘烤工藝，啟動/停止烘箱；
◆ 工廠系統(tǒng)根據(jù)，過程判斷待烤料件工位，記錄反饋工位信息；
◆ 系統(tǒng)控制開/關(guān)門等動作；
◆ 系統(tǒng)記錄并處理各種烘箱異常事件。如：超溫，氮氣不足，含氧量超標(biāo)、門未關(guān)到位；
◆ 實施記錄各種相關(guān)數(shù)據(jù)，如，溫度，料件ID，工藝信息
產(chǎn)品參考圖：
